蘇州昆山潔凈室裝修工程-光學微電子車間
作者:上海瀾盛凈化工程有限公司 發布時間:2023-04-10 16:08:17 點擊:1
本次設計設計為蘇州昆山微電子有限公司二層潔凈廠房的凈化空調工程設計,按照業主的要求設計為百級、千級、萬級、十萬級潔凈室。具體潔凈度及溫濕度要求詳見平面圖。施工范圍包括潔凈廠房結構裝修、潔凈空調通風系統、空調冷凍站、相關照明空調插座配電、工藝管道(空壓、真空、純水、冷卻水)等。同時根據凈化車間設備要求在局部設機械排風系統。
1.總面積1680平方米,建筑高度為4.6m,大梁高度3.7m,凈化車間吊頂高度為2.6m;
2.無塵房標準按靜態驗收,溫度、相對濕度參數詳細見下表;
房間名稱 | 潔凈度級別 | 溫度(°c) | 濕度(%) | 面積(㎡) | 送風量(m3/h) |
熱壓房 | 萬級 | 23±3 | 55±10 | 678.4 | 50000 |
中清洗房 | 萬級 | ||||
洗網房 | 萬級 | ||||
顯影 脫膜 | 萬級 | ||||
曝光房 | 百級 | 62 | 68000 | ||
貼合間 | 百級 | 38 | 45000 | ||
PI印刷房 | 百級 | 25 | 30000 | ||
PI預烘房 | 千級 | 47 | 7000 | ||
絲印房 | 千級 | 71.6 | 12000 | ||
定向間 | 千級 | 45 | 6800 | ||
固化房 | 千級 | 36 | 5500 | ||
更衣室 | 十萬級 | 57 | 2500 | ||
投料房 | 十萬級 | 29 | 1500 |
3.玻璃窗距離地面1.1m,空調車間觀察窗采用5mm白色玻璃;
4.單人雙吹風淋室,外尺寸1000*1590*2050.雙人雙吹風淋室,外尺寸2000*1590*2050.
6.更衣室衣柜采用不銹鋼支架FFU吹淋衣柜(參考參觀樣式)。
7.潔凈車間金屬壁板墻:50厚金屬壁板(板厚0.426聚苯乙烯夾芯),用于潔凈室內隔墻。
8.潔凈室吊頂:
千級、萬級、十萬級及準潔凈區一次彩鋼板天花吊頂,吊頂高度2.6m;吊頂潔凈板材采用50厚金屬壁板(板厚0.426,手工玻鎂板)。
百級潔凈區:T-GRID龍骨吊頂,吊頂高度2.6m。
二次彩鋼板吊頂(技術夾層)高度4.2,裸露梁體做環氧漆處理。
輔助用房吊頂采用烤漆龍骨+硅酸鈣板吊頂,吊頂高度3.2米。
9. 地面:
潔凈室頂面采用自流平環氧樹脂地面,厚2mm;定向間采用防靜電環氧地坪,局部車間采用防腐蝕環氧樹脂地面,百級潔凈車間內采用鑄鋁高架地板,架空高度300mm,尺寸為600*600*40。
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